实验室简介：

复旦大学义乌研究院新材料新器件新装备高精尖缺制造中心平台公共微纳加工实验室位于义乌市雪峰西路968号义乌科技创业园（以下简称科创园）13号楼一层，占地约600平方米。规划洁净空间超400平方米，其中千级洁净空间约50平方米。

实验室目前拥有大型仪器设备18台，其中包括高温管式扩散炉、掩膜对准紫外光刻机（MA6）、高真空电子束蒸发和电阻蒸发复合镀膜机、磁控溅射镀膜机、XeF2刻蚀设备、超临界CO2干燥仪、Parylene沉积封装设备等一批先进装备，涉及氧化扩散、光刻、薄膜沉积、刻蚀、封装等泛半导体产业所需的多道工艺。其中已调试好投入运行的大型仪器设备有15台。目前有2名青年研究员参与管理，4名专职工程师负责实验室的日常运转和维护。

平台公共实验室目前正在试运行期间。本着“服务科研，合作共赢”的理念，在为研究院内各实验室提供服务的同时也在收集用户的需求，不断完善自身的管理和服务水平。同时，实验室将通过引进新型仪器设备和高端人才持续加速自身建设。至2024年底，实验室将拥有各类大型仪器设备24台，聘用专职工程师4名，以满足研究院相关实验室及其他合作单位的科研需求。实验室也将逐步完善共享机制，在满足现有需求的基础上尝试开放仪器共享服务和对外加工服务，为义乌市及周边地区产业向泛半导体、先进材料、智能制造等高附加值产业转型升级提供有力支撑，成为浙中科创走廊的重要生力军。