新材料新器件新装备高精尖缺制造中心紧扣长三角产业优势，面向国际学术前沿、面向社会重大需求、面向产业发展等开展新工科和交叉学科的研发任务。中心通过材料器件装备跨越式全链条研究，实现重大原创性突破，布局前沿新技术知识产权，开展重点领域应用示范，扩大前沿新技术的产业化。

中心主要聚焦微纳电子与智能系统、纳米机器人与纳米系统、泛半导体器件与先进装备和先进结构与复合材料工程化等领域工作。

主要研究方向：

1.泛半导体材料工艺与先进装备研究

以多种泛半导体科创仪器和设备为切入点，重点开展新型薄膜沉积、柔性化薄膜转移、三维矢量刻蚀、等离子体臭氧清洗、光电测试、红外探测及热成像、扫描电镜技术及电子束光刻等先进装备和材料工艺技术的开发。

2.等离子体科学与先进装备研究

开展基于等离子体技术研发的泛半导体装备研究，如等离子体辅助原子层沉积系统和高效臭氧产生装置等，推动等离子体先进装备在集成电路和光电行业的产业化。

3.新型气敏传感器及光电能源应用研究

以“有机功能小分子+气敏半导体材料“的方法和全新可控氢化技术的工艺方式，构筑室温高选择性气敏半导体传感器及PEC光解水制氢能源转换器件，突破国外发达国家的技术垄断，为国家在这一卡脖子“痛点”高科技领域产业化助力。

4.磁性纳米薄膜与纳米机器人系统研究

以磁性器件和微纳机器人系统为着力点，重点开展基于磁性薄膜与微纳机器人系统的微纳器件应用基础研究，开发磁、声、光电等物理场响应的微纳器件，助力其在智能传感和生物医学等领域的应用。

5.智能传感设备研究

基于单轴拉伸压电聚孔酸薄膜等新型材料，结合人工智能与微纳半导体加工技术，致力于开发面向可穿戴动作识别系统、可穿戴呼吸检测设备以及远程家庭医疗诊断器械等前沿领域的智能传感设备。

6.铁性材料与智能生物器件研究

聚焦发展铁性材料的可控合成与制备方法，探究新奇物性与其多级结构的构-效关系，在此基础上深入挖掘其作为存储、传感、光电探测、执行器、微纳机器人等器件的潜力，并应用于开发新型医疗器械和治疗手段。

7.先进涂层材料与装备研究

主要开展10纳米及以下工艺节点的导向自组装光刻材料的开发及产业化。同时重点关注多功能电磁波吸收材料领域，涵盖电磁波吸收剂、电磁噪声抑制片、雷达波隐身防护涂层等，解决复杂电磁干扰问题，促进相关成果的产业化。

8.宽频段导电复合材料及器件的应用研究

重点关注新能源及国防军工领域的电磁干扰、电磁兼容和电磁防护需求，解决现有材料适用频段窄、器件与系统集成困难、工程施工操作繁琐等难题，推动建立相关国家及行业标准，实现多门类材料的国产化应用。

9.纳米表面结构光学器件及应用研究

基于高性能纳米表面结构光学谐振腔对光场的调控作用，结合机器学习优化算法和微纳半导体加工技术，开展纳米表面光学元器件设计、制备和性能研究。探索其在片上光谱技术、生物分子传感和二维材料光电传感等领域的应用。