近日，《功能材料与器件学报》编辑部公布2025年度优秀论文评选结果，我院新材料平台欧阳亦青年研究员与复旦大学梅永丰教授合作发表的《高精度、选择性原子层刻蚀技术研究进展》成功获评。该论文综述了原子层刻蚀（Atomic layer etching，ALE） 技术的基本原理、分类与技术优势，并重点阐述了不同材料体系的ALE工艺、ALE与ALD超循环选择性沉积，以及选择性ALE在先进半导体器件制造中的应用。相关成果以“高精度、选择性原子层刻蚀技术研究进展”为题受邀发表于功能材料与器件学报“原子层沉积技术进展”专题，并当选为2025年31卷第3期封面文章，此次经过期刊编辑部的层层评审筛选，成功获评为《功能材料与器件学报》2025年度优秀论文。
复旦大学义乌研究院始终高度重视科研创新与学术成果培育，积极组织高水平论文撰写与发表工作。此次获奖论文聚焦原子级制造前沿方向，体现了我院在微纳制造与先进器件领域的学术积累与研究水平，彰显了研究院在前沿科技领域的创新实力，也为相关项目的后续研究奠定了坚实的理论基础。
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