复旦大学义乌研究院科研/教学共享设备如下表所示，如有需合作请联系曹老师 周老师 0579-85507181
| 平台/中心名称 | 序号 | 型号 | 规格 |
| 新材料新器件新装备高精尖缺制造中心 | 1 | MicrowriterML3 | Microwriter ML3 Main System，Computer with Professional Control Software，Optical writing head including 0.6,1,5um，Pattern design software Clewin5 |
| 2 | VPE-4F | XeF2 Dry Etching System，工艺腔是铝制，150mm内径，铝制盖子，带玻璃窗口；样品尺寸为最大4英寸晶片，1片/炉次；Sequencer（时序控制器）自动操作，也可手动操作 |
| 3 | MA/BA6 Gen4 | SUSS MABA6 Gcn4 MASK AND BOND ALIGNER；TOUCH SCREEN MONITOR 22 INCH MA/BA Gen4；ALIGNMENT SYSTEM TSABSA MABA Gen4 |
| 4 | Axio Observer 5m | Microscope stand Axio Observer 5 materials - 6-position nosepiece, HD DIC M27 cod. - manual focus drive - 1x tube lens to fit with optional available 1-position tube lens mount or 3-position optovar turret cod. - focus stop - z-drive operation, flat; left - keys for switching TL|RL illumination - circular operation key unit right - light manager - slider mount 6x30 for Polarizer slider, 90° rotatable - slider mount 6x20 for sliders C-DIC and TIC - interfaces CAN, RS 232, USB and TCP|IP - trigger socket (In|Out) for shutter - connecting socket for external UNIBLITZ shutter - integrated 12V DC 100W power supply, stabilized, 100V-127V and 200V-240VAC | 50-60Hz | max. 300VA |
| 5 | EM CPD300 | 压缩机制冷，制冷温度范围：5-25°C；超临界加热温度控制范围：33-43°C可调，加热速率可调；完全自动化控制，内置触摸屏控制器，自动完成降温，CO2进气，交换，加热，超临界放气全过程，可无人值守； |
| 6 | PDS2010 | 蒸发室：125g容量 温度室温~180；裂解室：温度室温~720；沉积腔：12寸沉积腔基座；冷阱：不锈钢冷阱，可配机械冷机或液氮；真空泵：Edwards机械旋片泵；控制器：PLC+WEST6100+；电源：220V/50Hz 12A 单相 |
| 7 | D15M | 设备送取硅片，采用全自动悬臂推拉舟，碳化硅桨载料。推拉舟定位精度±1mm，速度10～500mm/min可调，采用日本三洋步进电机及驱动器，日本THK导轨丝杆作为传动 |
| 8 | PVD-400/DZS-500 | 溅射室极限真空度：≤6.6X10-5 Pa (经烘烤除气后)；系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气：溅射室30分钟可达到6.6X10-4 Pa；溅射室停泵关机12小时后真空度：≤10Pa；系统主要由溅射真空室、新型磁控溅射靶、新型基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成； |
| 9 | 4200A-SCS/ Axia ChemiSEM HiVac | 半导体参数分析系统4200A-SCS品牌是泰克科技；Axia ChemiSEM HiVac 主机 The core instrument (Axia ChemiSEM HiVac) includes:- Workstation with Windows 10 工作站- 1 x 24’’ Widescreen LCD Monitor 显示器- xT Software 电镜软件- W Column 钨灯丝镜筒- 120 x 120 mm Eucentric Stage 电动样品台- NT7 Holder 样品架- CCD IR Camera 红外CCD相机- Navigation Camera 光学导航相机- SE Detector 二次电子探测器- Integrated Current Measurement 束流测量- Operator Desk 工作台 |
| 10 | 台阶仪（DEKTAK XT），光学显微镜（DM3XL），引线键合机（RSH-101），快速退火炉（RTP500Z），等离子清洗机（ATTO），HMDS 烘箱（HMDS40） | 台阶仪最大扫描长度≥50mm，测试高度方向的重复性≤0.4nm（1微米的标准台阶）；光学显微镜观察方式：反射光明场、暗场、微分干涉；引线键合机主要包括主机，超声波发生器，热台，显微镜，机头，联杆，升降台；快速退火炉温度最高可达1300℃，样品最大尺寸支持4英寸；等离子清洗机手动控制运行模式，根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数；HMDS烘箱主要包括本设备包含真空箱体、抽真空系统、加热系统、温度控制系统、压力控制系统、充氮控制系统、HMDS 药业注入系统，安全保护装置等。 |
| 平台/中心名称 | 序号 | 仪器名称 | 型号 | 规格 |
| 生物技术与生物医学工程中心 | 1 | 标准版多通道研究超声平台 | Vantage 256 | 256 发射通道，256 接收通道；发射频率:0.5MHz 至 20MHz,时间延迟精确到 4纳秒脉冲发生器幅度范围:2-190 伏(峰峰值)； |
| 2 | ONDA AIMS III型超声声场分布检测系统 | AIMS Ⅲ型 | 三维水箱(730mm×360mm×440mm)、电子伺服系统、计算机控制软件 Soniq、专用数据处理装置、探头及传感器固定装置、示波器；针式水听器 HNA-0400、针式水听器 HNP-0200、前置放大器 AH-2010-100。 |
| 3 | 光学动态测量系统 | ARAMIS SRX 8G | （1）分辨率: 1200 万像素；（2）采集频率:335-2000Hz；（3）包含：3D Adj SRX 测量头（1套）；MV 130, Titanar50mm 镜头（1套）；LED 光源（1套）；FOBA 落地悬臂支架（1套）；高性能图形工作站 5820（1套）；Professional测量分析软件（1套）；Testing Controller 智能测试控制器（1套）；测量探针（1套）；蓝光 LED 照明面板（1套）；稳定型测量支架（1套）；2 米测量标定十字架（1套）；浏览分析软件（10套）。 |
| 4 | CIRS 模体 | Model 040GSE、 Model 551、 Model 769、Model 769DF和ATS 523A | Multi-Purpose, Multi- TissueUltrasound Phantom、Ultrasound Accreditation Phantom – Uniformity、DOPPLER FLOW PUMP、Doppler Fluid和Cardiac Doppler Flow Phantom |
| 5 | 射频矢量信号发生器 | N5182B | 频率9KHz-6GHz |
| 6 | 数字示波器 | MXR258A | 带宽2.5GHz，8通道 |
| 7 | 网络分析仪 | E5061B | 频率5Hz-3GHz，2通道 |
| 8 | 陆地-水下两用运动捕捉测量系统 | Mars4H UW | 水陆两用光学动作捕捉镜头数:12；最大分辨率：419万像素(2048×2048)；最大分辨率下的采集频率:180Hz(支持调高调低),降低分辨率的情况下最高可达2000Hz；延迟:5.2ms；供电方式:POE；系统防水等级:IP68 |
| 9 | 三维扫描仪 | OKI0-9M | 相机890万像素；高性能工业相机镜头，16mm，6个；蓝光滤光片窄波段，2个；精密数字光栅发生器OKIO-9M，一套 |
| 10 | 超高分辨率小动物超声成像系统 | Vevo F2 | Vevo F2主机，专用高频宽带电子线阵探头，B型超声功能模块，RF超声功能模块 |
| 11 | 多模式光声成像系统 | Vevo LAZR-X | Vevo Lazr-X主机，OPO脉冲式可调激光器 ，小动物密闭舱，小动物光声探测器 ，冷却循环系统 ，小动物麻醉机 ，小动物操作台 ，小动物心电监控，3D扫描模块，光声分析软件 |
| 12 | 16通道超声发射接收仪 | US-Mux 16 channels | 快速切换模式，以Us-key的脉冲重复频率切换通道手动和自动切换模式。 |
