石建军 高级研究员
石建军，于南京大学获学士、硕士学位，于英国拉夫堡大学获博士学位。之后在英国拉夫堡大学电力电子工程系从事博士后研究，2007年加入东华大学应用物理系并任副教授，2008年破格晋升为教授，担任东华大学磁约束核聚变教育部研究中心副主任和纺织行业先进等离子体技术与应用重点实验室副主任，2019年至2023年任东华大学应用物理系系主任。2023年4月加入复旦大学义乌研究院，建立等离子体科学与先进装备实验室。
研究方向：
中国力学学会第八届等离子体科学与技术专业委员会副主任委员，在Physical Review Letters、Applied Physics Letters、Physics of Plasma等学术期刊上发表学术论文120余篇，授权发明专利3项，出版专著1部；入选2023全球前2%顶尖科学家“终身科学影响力排行榜”和“2022年度科学影响力排行榜”。担任Applied Physics Letters顾问编委, Reviews of Modern Plasma Physics等学术期刊编委；获得了教育部新世纪优秀人才支持计划、上海市青年五四奖章、浦江学者和曙光学者等荣誉称号，中国材料研究学会科技进步一等奖。长期从事等离子体放电技术及其与材料相互作用的基础与应用研究，发展了多种适合产业化在线生产的高效可控放电机理和技术；并应用于半导体薄膜沉积、刻蚀和清洗装备和工艺，成功研发的等离子体辅助原子层沉积装备已获得了较好的产业化应用，推动了泛半导体高端装备产业的发展。主持科技部ITER计划配套项目、国家自然科学基金、长三角科技攻关项目等国家和省部级等科研项目10余项。